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                                半導體參數分析儀對標Keithley 4200A-SCS

                                簡要描述:Tensormeter專為自動精密測量電阻和電壓而設計。Tensormeter設備的特點是其基于集成矩陣開關的創新靈活架構。該開關矩陣使得測量不僅限于傳統的四線阻抗測量,還包括張量測量、范德堡測量等,并且使設備能夠補償自身的漂移、偏移和噪聲,從而實現優異的穩定性。Tensormeter RTM2能夠使用單一設備實現電阻張量(縱向和橫向電阻)的自動記錄,甚至可以在未加模式的薄膜上進行。

                                • 產品型號:RTM 2
                                • 更新時間:2023-11-17
                                • 訪  問  量:335

                                產品分類

                                Product classification

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                                品牌其他品牌產地類別進口
                                應用領域化工,電子,電氣,綜合

                                詳細介紹

                                半導體參數分析儀  ,對標Keithley 4200A-SCS

                                Tensormeter專為自動精密測量電阻和電壓而設計。Tensormeter設備的特點是其基于集成矩陣開關的創新靈活架構。該開關矩陣使得測量不僅限于傳統的四線阻抗測量,還包括張量測量、范德堡測量等,并且使設備能夠補償自身的漂移、偏移和噪聲,從而實現優異的穩定性。Tensormeter RTM2能夠使用單一設備實現電阻張量(縱向和橫向電阻)的自動記錄,甚至可以在未加模式的薄膜上進行。它結合了鎖相放大器和源/測量單元的優點,并具有出色的交流和直流性能。其測量范圍涵蓋從納歐姆到太赫茲,至少有8位數字的動態范圍。




                                應用領域:
                                材料研究與表征:固體物理學;半導體物理學;磁學;柔性電子學;自旋電子學;新型功能電子材料和器件
                                工業研發和晶圓/器件測試:微電子器件;存儲器件;晶體管、二極管;LED/OLED;太陽能電池;顯示器、TCO(導電氧化物透明電極);傳感器
                                優勢:

                                取代了所有用于電性特性測量的標準設備(例如鎖相放大器、源/測量單元、數字萬用表)。
                                通過集成的矩陣開關克服了固定4點測量的局限性。
                                提供van-der-Pauw和電阻張量測量的預設,并允許用戶進行配置。
                                不需要復雜的樣品制備(例如光刻結構)。
                                允許輕松連接到許多不同的測量設置(例如探針站、低溫系統、真空系統)。
                                節省測量時間并提高樣品通過量。

                                特點:

                                基于集成切換矩陣的可重新配置設備架構。 8個用戶定義通道(BNC連接器),其功能(輸入或輸出)可以自由確定。
                                使用固定連接進行傳統的交流和直流四線測量(Kelvin/霍爾幾何)。
                                使用一個設備進行交替連接的交流和直流測量(van-der-Pauw幾何)。
                                在無需光刻圖案的情況下同時測量縱向和橫向電阻的精確分離絕對值。
                                常見測量模式的軟件預設,但可以切換到用戶需要的任意序列。
                                基于TCP的通信,易于在任何環境中集成(例如LabVIEW、C、Python)。

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                                控制軟件用戶界面:



                                典型測量示例:

                                半導體參數分析儀在標準幾何形狀(KelvinHall布局)中進行超低噪聲和高穩定性的交流和直流四線測量。
                                在不規則、非結構化的薄膜樣品上進行Van-der-Pauw切換連接的四線測量。
                                零偏Hall四線測量(即使在非結構化樣品上也能精確分離縱向和橫向電阻)。
                                亞百萬分之一相對電阻變化的測量。
                                比率電阻測量,以消除樣品和器件漂移。

                                高驅動諧波失真測量,脈沖和測量例行程序。


                                低電阻傳感器和樣品電阻傳感器的差分輸入噪聲頻譜。超低寬帶和1/f噪聲的交流測量可精確表征和操作傳感器。

                                零偏Hall消除漂移和寄生效應 薄膜樣品上Hall測量的差分輸入噪聲頻譜。Tensormeter的零偏Hall預設消除了熱漂移,允許長時間積分,并且相比于常規的4線Hall測量,靈敏度提高了數個數量級。


                                自旋電子學:在反鐵磁樣品熱穩定期間磁序的喪失在Hall電阻中監測。Tensormeter的零偏Hall預設(頂部)清晰顯示了信號的喪失。相反,在相同樣品的常規4線Hall測量中,寄生信號的貢獻掩蓋了有用的磁化信號(底部)。

                                技術參數:

                                電氣規格

                                模擬輸出

                                對稱輸出

                                DC to 60 kHz, ±20 V, ±200 mA

                                輸出噪聲底限

                                < -150 dBFS  

                                積分非線性誤差

                                5 ppm

                                時間分辨率

                                2µs脈沖和任意波形模式

                                開關矩陣

                                矩陣大小

                                8接口x 4模擬功能

                                最大開關頻率

                                1 kHz

                                開關電阻

                                2.5 ?, SNS: 5.0 ?

                                浮動列阻抗

                                0.5 T? || 5 pF

                                測量

                                BJT輸入(SNS+SNS-的復合)

                                1.5 nV/√Hz, 2500 fA/√Hz

                                FET輸入噪聲(SNS+SNS-的復合)

                                8 nV/√Hz, 2 fA/√Hz

                                FET輸入負載

                                <1 pA, 0.1 pA/V, 8 pF

                                電阻測量噪聲底線

                                10 nΩ/√Hz(直接BJT輸入)

                                <1 nΩ/√Hz(變壓器耦合的FET輸入)

                                增益變化

                                100 ppm/K  

                                <1 ppm/K(比例模式)

                                1 ppb(在有熱穩定參考的比例模式)

                                直流偏置電壓變化

                                ±1 μV/K, ±3 ppm/K  

                                <0.1 ppm/K (差分模式)

                                范圍

                                串聯電阻

                                4, from 100 ? to 20 M?

                                輸出電壓測量

                                4, log, from 20 V to 2 V

                                輸入電壓測量

                                8, log, from 20 V to 100 mV

                                電流測量

                                4 per resistor, log, from 200 mA to 100 nA

                                在范圍內的基本精度

                                <1 ppm滿量程,用于輸出電壓和電流

                                <0.1 ppm滿量程,用于輸入電壓

                                在一個范圍內的連續動態范圍

                                > 8 digits  

                                相位和頻率同步

                                輸出端口

                                任何一個前端BNC端口

                                輸入端口

                                固定:任何前端的BNC

                                動態:跟隨任何模擬函數

                                同步范圍

                                2 Hz50 kHz,任意相移

                                波形類型

                                輸出:正弦波

                                輸入:任意信號(鎖定到主導頻率)


                                數字I/O端口

                                信號電平

                                單端3.3V CMOS邏輯,正極觸發

                                帶寬

                                10 MHz

                                輸入函數

                                HI/LO,觸發(解調或脈沖產生),pwm -模擬計數器,聯鎖

                                輸出函數

                                HI/LO,同步脈沖(開始解調或脈沖產生),模擬- pwm輸出,限位指示

                                時間延遲

                                < 100 ns(到數字I/O功能)

                                < 50 µs(模擬I/O功能)

                                輸出脈沖形狀

                                100µs HI脈沖,否則為LO



                                硬件/安裝

                                大小

                                19英寸機架安裝設備,2個高度單位,32厘米深度

                                功率需求

                                <75 W,通用AC單相AC輸入,C14連接器

                                操作范圍

                                0°C - 50°C,無冷凝濕度

                                前端連接器

                                BNC, 50 Ω型,防護罩可切換為防護罩或底盤

                                后端連接器

                                BNC, 50 Ω型,屏蔽連接到機箱

                                通訊端口

                                以太網

                                制冷

                                增壓氣流從前到后

                                前端LED指示燈

                                操作,通道選擇,都是可調的和可分離的


                                產品示意圖:


                                設備前面板包括:1. 8個BNC端口,用于多個模擬功能:驅動、感測、參考相位鎖定。2. LED指示燈,用于指示端口功能:輸入(白色箭頭)或輸出(藍色箭頭)。3. 冷卻風流入口(請勿阻擋)。4. 便于攜帶和機架安裝的把手。5. 19英寸機架安裝孔。


                                設備后面板包括:6. 2個BNC端口,用于多個數字功能:觸發、閾值檢查、PWM。7. 以太網連接器,用于主要的TCP通信。8. 帶保險絲和開關的主電源插口。9. 設備信息顯示。10. 冷卻風流出口(請勿阻擋)。


                                貨物清單:

                                Tensormeter RTM2 19英寸機架安裝設備
                                軟件包,包括LabVIEW和Python的客戶端代碼示例(無需驅動程序)
                                Tensormeter RTM2用戶指南,包括TCP命令、操作參數指南
                                帶F型連接器的主電源電纜(根據需要提供其他類型)
                                以太網電纜




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